ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ , В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,001 ДО 12000 МКМ И В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,001 ДО 3000 МКМ

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. N 2657

     1. Область применения

1.1. Настоящая Государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости от Государственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014) средствам измерений при помощи вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

1.2. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм представлена в Приложении А.

Примечание:

Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров шероховатости с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

Допускается поверять средства измерений, тип которых был утвержден до начала введения в действие данной государственной поверочной схемы, с использованием эталонов, аттестованных в установленном порядке, и приведенных в описании типа и методике поверки средства измерений.

     2. Государственный первичный специальный эталон

2.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности и передачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

модернизированный прецизионный метрологический сканирующий зондовый микроскоп нанометрового диапазона НаноСкан-3Di в диапазоне от 0,001 до 50 мкм;

модернизированный автоматизированный интерференционный микроскоп МИА-М1 в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм;

модернизированный прецизионный контактный профилометр нанометрового диапазона Talystep в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм;

модернизированный контактный широкодиапазонный профилометр Form TalySurf в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм.

2.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности:

a) Rmax и Rz в диапазоне от 0,001 до 50 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 12,5 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2·10 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 1,4·10 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу А, 0,2·10 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу В, 1,4·10 мкм,

суммарная стандартная неопределенность, 1,4·10 мкм,

расширенная неопределенность при k=2, U=2,8·10 мкм,

б) Rmax и Rz в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 0,75 мкм: